说说:干式螺杆真空泵的特点及使用注意事项
干式螺杆真空泵是干式泵家族中的一员。所谓干式真空泵,在泵的抽气流道中,不能使用任何油类和液体,排气口与大气相通,能直接连续向大气中排气的泵。广州真空泵http://www.mdzkb.com广州思正真空设备有限公司是真空系统解决方案以及真空系统设计、维护、安装的供应商,专注于与客户建立长期合作伙伴关系。我们拥有专业的 研发、销售、服务团队,提供满足客户不同真空需求的方案与系统。思正真空设备成立于广州,公司本着以人为本、精益求精、创新务实、顾客至上为经营理念,希望能通过在内部流程、制造工艺、销售模式、服务标准等环节的创新,为客户创造最大的价值。联系方式:020-37020365/37213047/13580548386/1361148555!8
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干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质,从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。
干式螺杆真空泵出现于上世纪90年代初,由于它具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点,因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到广泛应用。
干式螺杆真空泵是由一对同步齿轮带动逆向旋转的螺杆,在螺杆与螺杆之间、螺杆与泵腔之间均有一定的间隙,没有任何金属与金属之间的接触。
于是螺杆在旋转过程中就将被抽气体从进气口吸入并排出到排气口。
干式螺杆真空泵按照其中螺杆类型划分可分为等螺距和变螺距两类,而变螺距中又分为螺杆二段螺距大小不等和螺杆螺距连续变化两种。
从左至右:等螺距、变螺距(二段拼成)、螺距连续变化(整体)不同的螺杆设计。等节距螺杆与变节距螺杆P-V图
螺杆式真空泵与罗茨型、爪式真空泵比较
·气路比较
多级罗茨式气路罗茨+爪式气路干式螺杆泵气路
·抽速特性比较
干式螺杆真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转可靠且寿命长,操作维护方便;
由于采用变螺距结构,比等螺距螺杆可节省30%能耗,排气温度较低;
干式螺杆真空泵没有不平衡的惯性力,机器可平稳地高速运行,噪声低;
具有强制输气的特点,在宽广的压力范围内能保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响;
由于干式螺杆真空泵转子齿面间留有微小间隙,因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体,微小颗粒不容易堆积,泵腔内的剩余物也容易被清除;
螺杆真空泵结构断面图
由于干式真空泵极大多数是用于抽除腐蚀性或危险性气体,为了防止泵腔和螺杆被腐蚀或生锈并延长泵的使用寿命,根据不同的应用可选择下列不同的涂层:
1.PTFE (聚四氟乙烯)涂层:耐化学性能好,但涂层寿命较短,熔点低于300℃且耐磨性较差。
2.NIFA涂层:对所有的化学物质均具有良好的耐腐蚀性,耐机械划伤的性能好;
3.NIFLON涂层:良好的耐磨性,对基材具有良好的结合力,对极大多数化学物质具有良好的耐蚀性,耐机械划伤。
下述是7种不同规格型号的变螺距螺杆真空泵的技术参数(点击图片放大)。
螺杆真空泵背压:螺杆真空泵通常的排气压力是大气压,在配用电机功率不变的情况下最大允许背压到0.3barg。
如果螺杆真空泵在高背压下运行,会造成抽速下降、极限真空变差、排气温度过高等问题。
进气温度:螺杆真空泵进气温度15℃~60℃,在此温度范围内泵可连续长期工作;进气温度超出此范围则需采取必要措施。
冷却水温度:冷却水是在冷却水温度为20℃下的流量,冷却水最高的允许温度为32℃,但必须适当加大冷却水流量。
处理液体和固体的能力:螺杆真空泵的被抽气体可以夹带一定量的液体和微小颗粒。
1.低压化学气相沉积中的多晶硅制工艺;
2.半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3.除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺, 不希望微粒混入泵油中, 而希望微粒排出泵外, 则使用干式螺杆真空泵;
4.化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等, 防止有机溶剂造成污染;
5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
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