8、charcoal)吸附)吸附。q 当当array吸附太多气体后其效率会明显降低,此时须做吸附太多气体后其效率会明显降低,此时须做REGEN。vRegeneration Procedure PurgeqVacuum controller: AUTO 切切 MANUALqTurn off ion gaugeqTurn off powerq 通入热的通入热的N2 After 4 hours to roughing RoughingqClose N2 valveqOpen valve (if blow 50mtorr) Chilling Down 通入通入HeHe进行进行chilling , unti
9、l T=10 5k ( (利用冷冻原理,用利用冷冻原理,用compressor进行进行chilling ,循环使用循环使用) )vRegeneration ProcedureTurbo PumpvThe Working Principleq 由多級葉片組成由多級葉片組成,高速馬達驅動着高速馬達驅動着Rotor,当气体分子因为扩散进当气体分子因为扩散进 入入pump,将会受到将会受到rotor撞击而向后极加速前进撞击而向后极加速前进。q The characteristic of the Turbo pump 间隙很小间隙很小,很容易堵塞很容易堵塞 间隙不一样长间隙不一样长,从上注下从上注下,