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西虹网 PHT菲科半导体。晶圆传送盒搬运机器人 ，晶圆盒转换设备。晶圆搬运机器人的相关资讯可以到我们网站了解一下，从专业角度出发为您解答相关问题，给您优质的服务！
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西虹网 设备规格
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西虹网 加工材料
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西虹网 1．切块框
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西虹网 尺寸200mm300mm
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西虹网 厚度1.22 ± 0.08mm
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西虹网 翘曲0.25mm以下
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西虹网 可接触范围背面
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西虹网 2．晶圆盒
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西虹网 标准卡盒6片盒13片盒
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西虹网 框架存储间距15mm
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西虹网 3．运行时效
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西虹网 节拍时间运输时间180秒／13片以内
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西虹网 该设备是一种用标准晶圆盒替换存储在指定盒中的200mm300mm切割框架的系统。
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西虹网 使用的晶圆盒有、6片盒13片盒。每个晶圆盒都由操作员提供给站台。
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发表于 2024-2-5 18:20:41
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